Tháng 12 năm 1941, Quốc xã cho mở trại Chelmno, trại đầu tiên trong số bảy trại hành quyết được thiết lập với mục đích sử dụng công nghiệp hành quyết để tận diệt tù nhân trong trại. Đây là loại hình khác với các trại tập trung hoặc trại lao động. Hơn ba triệu người Do Thái mất mạng trong các trại hành quyết này. Phương pháp sát hại là dùng khí độc (Zyklon B hoặc cacbon mônôxit) trong những phòng hơi ngạt, mặc dù vẫn có nhiều nạn nhân bị giết bằng súng hoặc bằng các phương tiện khác. Thi thể của họ bị đem vào các lò thiêu xác (riêng ở trại Sobibór, dùng các giàn thiêu ngoài trời), tro người chết được rải hoặc chôn. Các trại hành quyết được điều hành bởi các sĩ quan SS, dưới quyền họ thường là các phụ tá người Ukraina hoặc Baltic. Lính chính quy Đức không được đến gần.